所謂加工的微觀質量是指加工表面極小間距微小峰谷不平度，即表面粗糙度。表面微觀質量好，耐磨損，平板使用壽命高。而工作面小范圍內的局部畸變是指加工表面不平整、有變形。這里所說的工作面小范圍，對小平板而言是局部位置，對大平板則是局部面積。平整性反映了平板局部誤差。